要保證被加工零件的精度和表面粗糙度，斜軌機床本身必須具備一定的幾何精度、運動精度、傳動精度和動態精度，幾何精度是指斜軌機床在不運轉時部件間相互位置精度和主要零件的形狀精度、位置精度。斜軌機床的幾何精度對加工精度有重要的影響，因此是評定斜軌機床精度的主要指標。運動精度是指斜軌機床在以工作速度運轉時主要零部件的幾何位置精度，幾何位置的變化量越大，運動精度越低。傳動精度是指斜軌機床傳動鏈各末端執行件之間運動的協調性和均勻性。以上幾種精度指標都是在空載條件下檢測的，為反映斜軌機床的性能，必須要求斜軌機床有一定的動態精度和溫升作用下主要零部件的形狀、位置精度。影響動態精度的主要因素有斜軌機床的剛度、抗振性和熱變形等。

半閉環精工斜軌機床，在驅動電機端部或在傳動絲杯端部裝置角位移檢測安裝(光電編碼器或感應同步器)，經過檢測電機或鍵杠的轉角直接測量執行部件的實際地位或位移，然后反響到精工零碎中。半閉環精工斜軌機床可以取得比開環精工斜軌機床更高的位移精度，但它的位移精度比閉環精工斜軌機床的要低。與閉環精工相比，易于完成零碎的堅定性。如今大少數精工斜軌機床都普遍采用這種半閉環進給伺服零碎慣性較大的斜軌機床挪動部件不包括在檢測范國際。閉環精工斜軌機床，在斜軌機床挪動部件上直接接有檢測繼置，將測得a4后果直接反響到精工零碎中，實際上是將位移指令值與地位檢測安裝測得的文際地位反響信號中止實時比擬，依據其差值中止控制，位挪動部件依照實際的要求運動，完成桿確定位。